目前煙氣脫硝技術可分為干法和濕法兩大類，其中干法脫硝中的選擇性催化還原（SCR）和選擇性非催化還原（SNCR）技術是市場應用最廣（約占60%煙氣脫硝市場）、技術最成熟的脫硝技術，其原理是向煙氣中噴氨或尿素等含有NH¬3自由基的還原劑，在高溫下直接（或催化劑的協(xié)同下）與煙氣中的NOx發(fā)生氧化還原反應，把NOx還原成氮氣和水。但該技術也有其巨大的局限性，由于化學反應需要在高溫下進行，而對于中小型鍋爐以及工業(yè)鍋爐來說，排煙溫度遠不能達到化學反應所需要的高溫，因此低溫煙氣脫硝技術就成為市場的必須。
低溫煙氣脫硝技術以低溫氧化技術（LoTOx）最為簡單有效，由于煙氣中的氮氧化物主要組成是NO（占95%），NO難溶于水，而高價態(tài)的NO2、N2O5等可溶于水生成HNO2和HNO3，溶解能力大大提高，很容易通過堿液噴淋等手段將其從煙氣中脫出。將煙氣中的NO轉化為高價態(tài)，需引入較強的氧化劑，在眾多氧化劑中，臭氧是最環(huán)保清潔的強氧化劑，在高效轉化NO至高價態(tài)的過程中不遺留任何二次污染物，另外不同于•OH、•HO2 等，工作環(huán)境惡劣，自由基存活時間非常短，能耗較高，O3的生存周期相對較長，將少量氧氣或空氣電離后產生O3，然后送入煙氣中，可顯著降低能耗。
