真空變壓吸附( VPSA制氧) 工藝從空氣中提取氧氣。其基本原理是利用吸附劑對(duì)不同吸附質(zhì)進(jìn)行選擇性吸附、且吸附劑的吸附容量隨壓力的變化而差異之特性?？諝庵械闹饕煞质荖2、O2和惰性氣體，并含有水分、少量CO2、灰塵和因地區(qū)而異的不同組成( 如烴類、SO2和H2 S 等) 。此外，空氣中還含有極微量的O3和NO2。選擇合適的吸附劑，將絕大部分N2和幾乎全部的二氧化碳、微量烴、水分及其他組分在加壓下吸附，在減壓下解析，而大部分氧和氬不被吸附，得到符合要求的富氧，經(jīng)增壓后送用戶使用。壓縮系統(tǒng)是將制氧所得的壓力較低的產(chǎn)品氧氣( 10 ～ 12 kPa( G) ) 通過(guò)氧氣增壓機(jī)進(jìn)行加壓，壓力加至0. 14 MPa( G) 送入氧氣緩沖罐，再通過(guò)壓力調(diào)節(jié)閥進(jìn)行穩(wěn)壓后，送出界區(qū)至生產(chǎn)車(chē)間。

雙床真空變壓吸附制氧裝置在兩個(gè)工藝床中使用13X和N - 2 分子篩吸附劑, 選擇性地吸收氮?dú)狻⑺?、二氧化碳和碳?xì)浠衔? 而讓氧分子和氬分子通過(guò), 從而獲得產(chǎn)品氧氣。當(dāng)分子篩吸附廢氣達(dá)飽和狀態(tài)時(shí), 必須進(jìn)行再生。通過(guò)內(nèi)部的壓力變化, 可完成活化和再生的過(guò)程。當(dāng)吸附過(guò)程進(jìn)行一定時(shí)間后，吸附劑達(dá)到吸附飽和狀態(tài)，此時(shí)停止吸附，通過(guò)均壓將部分富氧氣體返回吸附塔，然后通過(guò)真空泵將吸附塔內(nèi)吸附的氣體強(qiáng)制性抽走，使吸附劑在負(fù)壓狀態(tài)下得到完全解吸與再生。為此設(shè)置了兩臺(tái)旋轉(zhuǎn)葉輪式鼓風(fēng)機(jī)提供壓差。一臺(tái)原料風(fēng)機(jī)提供吸附用的大氣, 一臺(tái)真空風(fēng)機(jī)用于把所吸附的氣體清除至廢氣物流中。由于VPSA制氧系統(tǒng)是按循環(huán)周期以分批方式生產(chǎn)氧氣, 因此必須把氧氣產(chǎn)品儲(chǔ)存到氧氣緩沖罐中, 以向產(chǎn)品氧壓機(jī)提供連續(xù)的氣流。吸附制氧系統(tǒng)是真空變壓吸附制氧系統(tǒng)的核心部分，原料空氣從吸附塔底進(jìn)入，通過(guò)吸附塔內(nèi)的多種吸附劑，將空氣中的水、CO、CO2、烴類依次吸附，在專用吸附劑層，空氣中的絕大部分氮被吸附，氧則被濃縮至≥80% 的濃度，作為產(chǎn)品的氧氣從吸附塔頂排出，進(jìn)入氧氣緩沖罐。入口空氣過(guò)濾器由內(nèi)、外兩層過(guò)濾網(wǎng)組成, 用于除去空氣中的機(jī)械雜質(zhì), 設(shè)置的壓差計(jì)用于顯示過(guò)濾器是否該進(jìn)行維護(hù)。