我國在60年代末期開始變壓吸附法的研制，在80年代后期才實現(xiàn)小型裝置的工業(yè)化，以至于在70、80年代，我國的中、大型變壓吸附制氧裝置還主要依賴進口。經過十多年的發(fā)展，我國在變壓吸附制氧技術上已取得較大的技術突破，特別在裝置關鍵技術制氧專用吸附劑和程控閥門、以及動力設備的合理選擇和配置上已全部實現(xiàn)國產化，并且在經濟性能指標和產品技術性能上均優(yōu)于國外同類產品，在無需高純氧氣的生產中，變壓吸附制氧法已發(fā)展成為世界上獲取低成本氧氣的主要方法，它正在表現(xiàn)出強烈的競爭能力。

隨著我國對變壓吸附裝置的不斷研究和開發(fā)，在吸附劑和大口徑程控蝶閥的開發(fā)生產取得突破性的發(fā)展，成功地研制并生產了在低壓力條件下N2/O2分離系數(shù)更高、吸附容量更大、強度更高、使用壽命更強的新型專用制氧吸附劑，其N2/O2分離系數(shù)比傳統(tǒng)的硅鋁酸鹽制氧吸附劑提高近兩倍，對N2的吸附容量提高了近70%左右，該吸附劑的使用，比傳統(tǒng)同類裝置減少吸附劑裝填量近50%，對空氣中的O2收率明顯提高，減少了鼓風量及抽真空量，節(jié)能效果相當明顯，實現(xiàn)了變壓吸附制氧裝置單位氧氣能耗≤0.35Kwh/Nm3的世界先進水平，為大型制氧裝置的發(fā)展提供了有力的基礎保證。

變壓吸附VPSA制氧法具有工藝流程簡單，制氧過程在常溫常壓下實現(xiàn)，裝置運行安全可靠，建設投資省、單位氧氣能耗低、自動化程度高、操作人員少（2人/班）、開停車時間短（一般在30min內能滿足生產使用要求）、適應性強，氧氣純度可以在50%～95%之間任意調整，負荷可在30%～110%范圍內隨意變化。我國大型變壓吸附制富氧裝置單系列產氧量已達到15000Nm3/h（折合純氧）的設計和生產能力，產品氧氣純度根據不同的使用工況可以在50%～95%O2之間任意確定，由于變壓吸附的一個顯著特點是：產品氧氣純度越低，原料空氣中的氧收率越高，一套VPSA裝置產品氧純度的確定，主要考慮專用制氧吸附劑的產氧性能、后續(xù)用氧單元所需富氧的使用條件等因素，根據綜合投資性能比來合理選擇裝置的產氧純度；一般工業(yè)生產中裝置氧氣純度的確定有兩種：90%～93%O2和70%～80%O2； 先進的真空變壓吸附（VPSA）工藝流程；新型專用制氧吸附劑：在低壓力條件下N2/O2分離系數(shù)更高、吸附容量更大、強度更高。三偏心全金屬扭矩程控蝶閥：300萬次開關無泄漏，開關時間≤2秒，口徑可達DN2400。高爐富氧噴煤：采用VPSA富氧裝置供氧，氧氣的綜合生產成本在0.25元/（Nm3•100%O2）以內。變壓吸附制氧法已發(fā)展成為世界上獲取低成本氧氣的主要方法，它正在表現(xiàn)出強烈的競爭能力。